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NV-150型MBE系統(tǒng)品牌
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生長室
· 極限真空5E-11Torr
· 6英寸或3×3英寸襯底
· 12個源爐口
· 可選E-gun系統(tǒng)
· 襯底**加熱至1000°C
· 多種束源爐擋板可選
緩沖室
·極限真空SE-10Torr
·可選集成式高溫除氣臺
·可選獨立預(yù)處理室
·易于擴展、多腔互聯(lián)
·線性手動／自動傳輸
進樣室
· 快開門設(shè)計
· 可裝載7片晶圓
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