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應(yīng)用于寬禁帶半導(dǎo)體器件、電力電子器件、光電子等行業(yè)氮化硅、多晶硅或氧化硅薄膜的制備；適用工藝有LPCVD。
溫度控制采用串級(jí)控制方式，對(duì)基片實(shí)際溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)智能控制；
裝載采用SiC懸臂槳，避免了與工藝管摩擦產(chǎn)生粉塵。
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